洛阳智能控温立式垂直1700度预抽真空管式炉

智能控温立式垂直1700度预抽真空管式炉
当炉腔内的氮气置换程序完成时，控制面板的蜂鸣器发出三声短促提示。此刻的炉体像一头完成热身的机械巨兽，陶瓷纤维隔热层将1700℃的高温牢牢锁在石英管径内，透过观察窗只能看到一片令人安定的黑暗——这正是真空环境下高温处理的精妙之处。

工程师小林将涂覆了氮化铝涂层的碳化硅基板送入载物台，智能温控系统立即启动多段式升温策略。在真空度维持在5×10⁻³Pa的环境中，炉膛开始以每分钟15℃的速率爬升温度，PLC控制器上的曲线像心电图般平稳推进。特别设计的立式结构让热场分布呈现出独特的轴向梯度，这对需要定向结晶的半导体材料而言至关重要。

"现在进入恒温烧结阶段。"语音提示响起时，炉体侧面的水冷系统自动激活，盘管里流动的去离子水带走多余热量。小林注意到监控屏幕上跳动的数据：温度波动±1.5℃，完全符合工艺要求的±2℃误差范围。这种稳定性得益于炉膛内均匀排布的六组MoSi₂加热棒，它们像精密编排的芭蕾舞者，通过PID算法实时调整各自的输出功率。

智能控温立式垂直 1700 度预抽真空管式炉是一种常用于科研和工业生产的高温设备，以下是一些相关的产品介绍：

• 立式管式炉功率输入为 7kW，工作电压为 AC220V 单相 50/60Hz。炉管尺寸为 Φ60×1000mm，加热区长度为 400mm。采用高纯铝纤维绝缘材料，双层壳体带风冷系统。配备智能 PID 温控仪表，可编 30 段程序，控温精度 ±1℃，带有超温报警和热电偶保护功能。可通过机械泵达到 10⁻²torr 的真空度，通过分子泵达到 10⁻⁵torr 的真空度。

• 1700 度管式炉：，大功率为 4.5kW，工作温度≤1650℃，加热区长度为 300mm，恒温区 150mm。炉管采用外径 50mm、长度 1000mm 的高纯刚玉管。采用智能 PID 自动控制，控温精度 ±1℃，30 段程序可编程。具有超温报警、过流保护、热电偶故障保护等功能。

• 立式管式炉，电气规格为 AC220V 1.8KW，可达温度 1700℃（<1 小时），连续温度 1650℃。加热区长度为 300mm，炉管尺寸为 Φ80×1000mm。采用智能 PID 模糊温度控制，7 英寸触摸屏集中操控，可直观显示 “时间 - 温度” 曲线。炉体采用双层风冷结构，真空度≤10Pa（机械泵），具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

• 真空气氛管式炉：功率为 5.2KW，额定电压为 AC220V。炉膛尺寸为 200×200×200mm，加热元件为 6 根硅钼棒。采用 B 型双铂铑热电偶，控温精度 ±1℃，30 段程序可编程。炉膛顶部安装防爆机械排气阀，真空度可达 100Pa 以下，气路配备 1 个 8L/min 浮子流量计。

三小时后，完成退火处理的基板在惰性气体保护下缓缓降至室温。当气动密封阀"嗤"的一声开启时，泛着蓝灰色金属光泽的成品在载物台上静静等待检阅。小林戴着手套取出样品，指尖传来细腻的陶瓷质感——智能温控系统完美实现了材料微观结构从β相到α相的转变，这将是下一代功率器件理想的热管理基板。

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